NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用机械手的传输方式，通过量测硅片的电阻率，PN型及厚度，为硅片进行分档归类，便于客户的产品规格分类，可以支持多种尺寸的半导体硅片。
测量精度高，覆盖大尺寸硅片
利用机械手进行硅片传输
非接触式测量电阻率，厚度及P/N极性
运用紧凑型设计双平台来满足测量和传输区域
Cassette数量可根据客户需求设计
选件:硅片平整度测量（FLA-200)
样品尺寸：
12寸，或6寸,8寸
测量范围：
电阻率: 1m ~ 200Ω・cm
厚度: 150 ~ 800μm (300μm 至 150～800μm)
该测量范围由低，中，高，超高阻值的不同测量探头来覆盖
低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)
