NC-6800是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用皮带式的行进方式,可以通过量测硅片的电阻率,PN型及厚度,为硅片进行分档归类,便于客户的产品规格分类,可以支持多种尺寸的半导体硅片。
非接触式测量电阻率,厚度及P/N极性
Cassette数量可按客户需求设计
涡电流方式测量电阻率,电容法测量硅片厚度
具备温度补偿功能
样品尺寸:
3 ~ 8 寸
测量范围:
电阻率: 1m ~ 200 Ω.cm
厚度: 150 ~ 1200 μm
电阻率测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖
低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)
中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)
高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)
超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)