非接触式硅片分选系统(传送带方式)

  • 产品型号:NC-6800
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-6800是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用皮带式的行进方式,可以通过量测硅片的电阻率,PN型及厚度,为硅片进行分档归类,便于客户的产品规格分类,可以支持多种尺寸的半导体硅片。


  • 非接触式测量电阻率,厚度及P/N极性

  • Cassette数量可按客户需求设计

  • 涡电流方式测量电阻率,电容法测量硅片厚度

  • 具备温度补偿功能    


  • 样品尺寸:
    3 ~ 8 寸

  • 测量范围:
    电阻率: 1m ~ 200 Ω.cm
    厚度: 150 ~ 1200 μm

  • 电阻率测量范围由低,中,高,超高阻值的不同测量探头来覆盖

    低:0.01 - -0.5 Ω/sq (0.001 - 0.05 Ω.cm)

    中:0.5 -10 Ω/sq (0.05 - 0.5Ω.cm)

    高:10 - 1000 Ω/sq (0.5 - 60 Ω.cm)

    超高:1000 - 3000 Ω/sq (60 - 200 Ω.cm)