美国Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系统,依托高品质半导体工业专用显微镜,配备高精密移动样品台,高倍率长距离明暗场聚焦物镜系统,辅以高清晰CCD模块,组成了测试的硬件平台,在此基础上,开发了内置AI算法的图像识别系统,可以快速比对识别数千张甚至数万张晶圆表面的图像,在数分钟或数十分钟内即可检测得到所需要的各种缺陷图像,并进行自动分类和识别,形成报表,工程师可以直观的看到所检测得到的缺陷在晶圆的位置,大小,形状等信息.
特点
•高品质工业级显微镜系统
•高精度自动样品台
•高智能图像分析软件
•完美的软硬件结合
•配合不同镜头可实现多区域多缺陷测试
•可测试各种凹坑,突起以及平面缺陷
•可导出全部数据和图像
配置
•nSpec 晶圆表面缺陷扫描系统,主机
•5x 和10x镜头,标准配置
•可选 50/75/100/150/200 真空样品台
•可选20x镜头,50x镜头和100x镜头
•可选单cassette小型取放片机械手
光路系统
LED白光照明
明暗场镜头,5x和10x
DIC对比技术
偏振和分析功能
样品台
200mm, XY移动样品台
中心负载,5磅最大
重复性,±2um
精密铝合金板不锈钢轨道
解析度, ,±2um
样品盘,2-12inch可选
标准镜头
像素面积,4.54um
图像尺寸 2552*2200
最大帧率,8fps
控制主机
电脑和摇杆控制
自动聚焦
电脑控制照明,镜头的选择