全自动晶圆表面缺陷检测系统

  • 产品型号:nSpec
  • 制造原厂:Nanotronics Imaging LLC

美国Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系统,依托高品质半导体工业专用显微镜,配备高精密移动样品台,高倍率长距离明暗场聚焦物镜系统,辅以高清晰CCD模块,组成了测试的硬件平台,在此基础上,开发了内置AI算法的图像识别系统,可以快速比对识别数千张甚至数万张晶圆表面的图像,在数分钟或数十分钟内即可检测得到所需要的各种缺陷图像,并进行自动分类和识别,形成报表,工程师可以直观的看到所检测得到的缺陷在晶圆的位置,大小,形状等信息.

特点

•高品质工业级显微镜系统

•高精度自动样品台

•高智能图像分析软件

•完美的软硬件结合

•配合不同镜头可实现多区域多缺陷测试

•可测试各种凹坑,突起以及平面缺陷

•可导出全部数据和图像

配置

nSpec 晶圆表面缺陷扫描系统,主机

5x 10x镜头,标准配置

可选 50/75/100/150/200 真空样品台

可选20x镜头,50x镜头和100x镜头

可选单cassette小型取放片机械


  • 光路系统 

LED白光照明

明暗场镜头,5x和10x

DIC对比技术

偏振和分析功能

  • 样品台

200mm, XY移动样品台

中心负载,5磅最大

重复性,±2um

精密铝合金板不锈钢轨道

解析度, ,±2um

样品盘,2-12inch可选

  • 标准镜头

像素面积,4.54um

图像尺寸 2552*2200

最大帧率,8fps

  • 控制主机

电脑和摇杆控制

自动聚焦

电脑控制照明,镜头的选择