无论您的特定晶圆检验要求是什么，Nanotronics都提供了一系列的解决方案以快速的获得结果。
这个紧凑的系统是为最大200mm的晶圆片的高通量宏观检测而设计的。以毫秒为单位, nSpec®
Macro能根据视场或晶圆尺寸自动检测和量化50至100微米的缺陷。
nSpec® Macro允许照亮整个样品的大小，可以编程控制照明角度和/或照明向量。亮场、暗场、正交和可配置的斜向照明角度与单独可修改的led配对，调整亮度、颜色和照明位置。
系统可以自动导出一个csv文件，并且与SECS/GEM兼容，或者可以根据客户需求进行定制。
自动晶片处理
Nanotronics自动化nSpec® Macro拥有符合行业标准要求的晶圆装载机。
Nanotronics创建了一种末端效应器，它可以装在整个晶圆片包括边缘隔离区。每一个末端效应器设备都是根据客户的需要设计的。
晶片装载机
每次一盒卡夹：标准h-bar 卡夹
标准晶圆片尺寸: 50、75、100、150或200mm
尺寸(W x D x H): 71厘米x 74厘米x 67厘米
体重: 62公斤
最小真空要求:20英寸Hg
电源:220v, 3.5安培
控制软件
recipe易于配置，并可根据需要进行保存。多次扫描可以连续运行完成。在光照角度，强度和波长方面的有很好的灵活性。
光学
暗场照明模式
光照角度:0度
斜照明模式
照明角度:0到80度
明场照明模式
照明角度:90度
正交照明模式
照明角度:90度(透过镜头)
