2D双折射测试系统 (SiC晶体内部缺陷检测)

  • 产品型号:PA-300
  • 制造原厂:Photonic Lattice

Photonic Lattice的PA系列双折射测试系统专为低相位差应用而设计,能够高速测量双折射/相位差分布,分辨率高达500万像素,测量范围为0至130纳米。

它适用于测量玻璃制品和镜片等相位差较小的物体,以及SiC晶体内部缺陷, 可提供非接触式高速面扫描测量, 如针对加工歪斜、晶体缺陷、位错等在可见光下无法观察的现象,可通过双折射测量原理进行检测。

此外也可提供一系列适用于各种物体的仪器,从显微镜尺寸到大型物体(约50厘米)。


测量视场:37 × 44mm ~ 360 × 480mm(根据不同型号)

测量范围:0 ~ 130nm

测量重复性:σ < 0.1nm

测量波长:520nm