Photonic Lattice的PA系列双折射测试系统专为低相位差应用而设计,能够高速测量双折射/相位差分布,分辨率高达500万像素,测量范围为0至130纳米。
它适用于测量玻璃制品和镜片等相位差较小的物体,以及SiC晶体内部缺陷, 可提供非接触式高速面扫描测量, 如针对加工歪斜、晶体缺陷、位错等在可见光下无法观察的现象,可通过双折射测量原理进行检测。
此外也可提供一系列适用于各种物体的仪器,从显微镜尺寸到大型物体(约50厘米)。
测量视场:37 × 44mm ~ 360 × 480mm(根据不同型号)
测量范围:0 ~ 130nm
测量重复性:σ < 0.1nm
测量波长:520nm