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Photonic Lattice SE 系列是一款紧凑型且具有高扩展性的单点测量椭偏仪. 极具性价比、操作简便、内置倾斜传感器，可轻松整合至其他系统。可实现高达 70 fps 的实时测量，从而能够实时观察膜厚的逐步变化，可拆卸的测头单元可作为模块使用。
测量重复性：
厚度：σ<0.1 nm
折射率：0.001
最小测量数据光斑尺寸：1mm
光源：半导体激光器（波长：636 nm，2 类）
激光入射角：70°
测试速度: 0.05秒/点
