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Photonic Lattice的ME系列高速椭偏仪可对整片 8 英寸和 12 英寸晶圆进行测量。 此外，还可以进行窄区域测量以及透明基板上的测量
测量重复性：
厚度：σ<0.1 nm
折射率：0.001
最小测量数据光斑尺寸：
宽域模式：0.5 mm
普通模式：55 μm
高精度模式: 5.5μm
光源：半导体激光器（波长：636 nm，2 类）
激光入射角：70°
测量速度：
宽域模式：约 1,000 点/分钟
普通模式：约 33,000 点/分钟
高精度模式：约 132,000 点/分钟
