English
繁體中文
PN-12α是由日本Napson公司推出的冷热探针式PN型判定设备。
通过热电效应进行测量,测量探头部分由冷热两个电极组成
可测试各种类型样品,如硅片,硅锭,硅棒等
两种类型探头可选:1) 双探头,冷热探头分离式2) 单探头,冷热探头组合式
样品尺寸:大于2寸
测量范围:
可测试PN极性的样品电阻率范围: 1m~20k Ω・cm
多晶硅,带有硅衬底上的薄膜,及硅衬底上带有多层氧化薄膜结构的样品不能测试