表面尘埃粒子检测仪是一款面向高端制造、半导体工艺、光电显示及精密加工领域的高灵敏度检测设备。它通过光散射探测与智能识别算法，对材料表面的微小尘埃、颗粒及污染物进行实时检测与量化分析，帮助用户精准掌握洁净度状况，提升生产良率与质量控制水平。
这款设备完全由国内团队自主研发，核心光学、算法与电子系统均实现国产化突破，是一款可替代进口设备的高性能粒子检测解决方案。
测试流程：探头扫过要测试的样品表面，表面上的颗粒被通过扫描头上的开口排出的高压空气流化。然后这些粒子通过探头气管被拉到表面粒子检测器，在那里记录粒子水平并以原始粒子计数，颗/ in2 或 颗/ cm2表示；该系统采用固态激光二极管光源和收集光学器件，用于检测和确定通过扫描头拉出的颗粒的大小。收集光学器件将光聚焦在光电探测器上，该光电探测器将光脉冲转换为电脉冲。脉冲高度与颗粒大小成正比，装置采用光散射激光技术来量化表面污染颗粒的相对水平。
型 号:SPC-110ST
流量:28.3 L/min+5% 内建流量传感器，流量自动开回路控制
光 源:国产自研半导体雷射二极体
测试粒径:0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、5.0μm(可依客户需求客制，最多八个通道)
最大饱和浓度:1000000/ft3
自净时问:≤10min
测量次数：0-99 次 周期:3-300 秒 延迟时间:0-999 秒
洁净度等级：SCP等级
数据单位：N/cm2 N/in2 N/m2
SCP等级：1级~8级
表面探头类型：圆形
表面探头规格：15、20、30、50、70mm(直径);标配一支 50mm 表面探头
功 能：依探头外型(例如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸)自动计算表面积，直接判定 SCP 等级
电 源：可拆卸充电鲤电池，DC24V供电
打印功能：热感式打印机
资料储存：至少可储存 100,000 组资料
重 量：8.8Kg
外形尺寸：250 x240x310mm(不含气嘴、握把等配件)
