手动式四点探针面电阻值/电阻率测量仪

  • 产品型号:RT-70V series
  • 制造原厂:Napson Corp.
  • 整套测量系统由测量主机RT-70V和不用应用的平台组成

  • 测量主机为RT-70V 

   通过旋钮调整输入样品厚度

   主机带自我测试功能,及自动切换测量档位功能

  • 应用:半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)

                导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品。

  • <测试平台>

   可根据实际测量应用从下列平台中选择
   (1) RG-7C: 自动测量,探头上下移动
   (2) RG-7S: 测量大尺寸样品,手动移动探头位置,探头自动上下移动
   (3) TS-7D: 手持式测量探头  


  • 样品尺寸:
    基于所选择的平台而定
    圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm

  • 测量范围:

  • V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω

  • 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq

  • 电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm