NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动涡电流非接触式电阻率测量设备。它可以通过电脑进行控制,编辑测试需要测试的硅片大小,测试点位数量,运用涡电流非接触式的量测原理进行测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。
特点
多点测试和图谱显示功能;
宽范围和高精度测试能力;
标配2inch到8inch的测试能力;
软件提供数据表功能,可以提供SPC统计,有最大,最小,平均值和标准方差值;
精密简约的设计,比前代设备体积大大缩小,测试能力却成倍提升
软件内置校正功能
规格
标准电阻率测试范围: 0.01 ~ 3200 ohm/sq
高阻测试范围: 0.01 ~10k ohm/sq
超高阻测试范围: 0.01 ~ 100k ohm/sq
探头直径:14mm
测试点数: 标准配置217点, 可选999点
测试重复性(1-Sigma,溯源VLSI标准片):
0.04 ohm/sq: 0.1%
0.16 ohm/sq: 0.1%
1.6 ohm/sq: 0.1%
16 ohm/sq: 0.1%
400 ohm/sq: 0.2%
600-1000 ohm/sq: 0.2% - 0.7%
3000 ohm/sq: 1.5%
测试速度
点数 预计时间
5点(-) 17s(±1s)
5点(+) 21s(±2s)
9点(+) 24s(±2s)
17点 45s(±3s)
37点 70s(±3s)
73点 125s(±5s)
121点 195s(±10s)
217点 320s(±10s)
面电阻测试范围:0.005 ~ 3000 Ω/sq
探头类型
- 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq
- 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq
- 中:0.5 ~ 10 Ω/sq
- 高:10 ~ 3000 Ω/sq
探头直径:14mm
探头间隙:1.7mm ~ 2mm