Trek 1100TN静电力显微镜(EFM)使电压分布的测量具有非常高的空间分辨率-10μm远远超出典型的静电电压表的能力。与在大气条件下操作的扫描探针显微镜相比，Trek的EFM还可以测量更大的表面积的电压分布。Trek的EFM使用一个反馈电压到检测器，它等于测量的电压，从而防止探测器和测试表面之间的电弧影响。
可以在大气条件下使用
空间分辨率优于10μm
三种测量模式:
——静态
——谱线轮廓
——三维投影
测量范围:0到±1 kV直流
空间分辨率(参考输入电压与combshaped电极:信号强度10μm宽度的60%
信号强度20μm宽度的70%
分离探测器尖端测试和表面(Z轴)与压电控制阶段:通常5μm
精度:超过0.5%。
电压灵敏度:大于100mV。
采样速度:30 ms到0.1 ms每个数据样本。
扫描区域
X轴和Y轴: ±15mm，分辨率为1μm。
Z轴范围:0到5mm。
Z轴压电阶段范围:0到80μm 和1μm准确性
光学系统
用于检测悬臂畸变的激光装置:激光二极管670nm带探测器光电二极管。
观察实际测量点。
光源:绿色
摄像头:CCD 380k像素。
物镜:10 x镜头500μm方形在监控摄像头
