NC-60F/RS-1300是由日本Napson公司推出的全自动液晶面板涡电流非接触式面电阻测试仪。它通过机械手的方式进行传输玻璃,运用电脑控制机台对玻璃基板上多点的面电阻测量,并可提供2D/3D Mapping图,运用非接触式的涡电流测量技术,具备良好的测试精度及重复性。
全球平板显示器行业针对非接触式测量ITO和金属薄膜的标准机台
测量探头可在X-Y及Z轴全自动移动
可兼容机械手实现自动上下片
可集成其他多功能量测部件(如膜厚测量等)
可增加四探针测量模块:RT-3000
样品尺寸:
支持最大2,880 x 3,080mm
测量范围:
面电阻:
<1. ITO薄膜> 5~800 Ω/sq
<2. 金属薄膜> 10m ~ 10 Ω/sq
[ITO薄膜厚度] 20 nm (200A)~500 nm (5,000A)