硅片平坦度量测仪

  • 产品型号:FLA-200
  • 制造原厂:Napson Corp.

FLA-200是由日本Napson公司推出的硅片平坦度测量仪。可以针对不同尺寸的样品进行整面的扫描,分析,计算出平坦度的各类参数


  • 可测量厚度,TTV,Bow,区域及整片硅片的平整度(符合ASTM规范)

  • 搭配高精度直径5mm的电容探头

  • 可测量材料有硅,砷化镓,锗,磷化铟,碳化硅

  • 覆盖500微米测量厚度,无需重复校准

  • 2-D/3-D测量数据图谱

  • 数据通过CSV格式文件进行保存及导出。
           


  • 样品尺寸
    3~8 英寸,或选配12英寸配置机台

  • 测量范围
    厚度: 200 –1200μm
    弯曲度 : +/-350μm
    翘曲度: 350μm