表面缺陷宏观检测系统

  • 产品型号:Stealth
  • 制造原厂:TOHO Electronics Inc.

对基板整体进行高精度,快速检查    

Stealth300V采用线型LED光源照射基板/薄膜表面,并使用超高感度摄像头扫描来自被测物的正反/散射光线,摄取整体图象,然后通过图像分析对表面缺陷进行检出。    

相对以往的局部检测设备,Stealth可以更高速更全面检出各种表面缺陷。    

本设备适用于各种薄膜在各种工艺段后的品质检查。如光刻胶,PI薄膜等的曝光MURA,残渣MURA。此外还能对Micro Lens和LED的PSS高度进行整体检查。 

测试对象:光刻胶MURA    

          打印残膜MURA    

          LED PSS高MURA    

          Color Filter MURA等等    


基板尺寸: G6~G10.5玻璃    

摄像头:线型传感器摄像头    

光源:LED    

检查方法:利用正反射/散射两种方法检出    

测定时间:1片/1分钟以内(图象分析时间除外)    

可采用红,蓝,及白光    

支持SEMI 150-300mm晶圆,FPD G10.5以下,或LED 50-150mm芯片    

最小可检测颗粒大小28um