全自动四探针硅片分选系统(机械手传送)

  • 产品型号:WS-8800
  • 制造原厂:Napson Corp.

WS-8800是由日本Napson公司推出的全自动四探针电阻率硅片分选仪。它运用机械手的传输方式,可以通过四探针法测量硅片的电阻率,以及PN型和厚度,为硅片进行分档归类,便于客户的产品规格分类,可以支持多种尺寸的半导体硅片。


  • 通过测量硅片电阻率,厚度,P/N极性进行分选

  • 具备自我测试功能,测量范围广

  • 拥有根据厚度,边缘及温度对硅片电阻率测量的修正功能

  • Cassette数量可根据客户要求设计

  • 具备CIM通信功能,可兼容SMIF或FOUP    


  • 样品尺寸:
    3 ~ 8寸 (或 12寸)

  • 测量范围:
    电阻率: 100μ~1M Ω.cm
    面电阻: 1m~10M Ω/sq