WS-3000是由日本Napson公司推出的全自动四探针电阻率量测设备。它可以支持FOUP/SMIF等上下料方式,具备GEM/SECS通信功能,实现半导体工厂全自动测试的需求。可以支持多点量测,输出2D/3D Mapping图等自动化功能。
高性能全自动晶圆电阻率测试系统
具备距边1mm的量测能力
兼容FOUP/SMIF,具备GEM/SECS通信
可根据不同样品自动切换4种不同规格的探头
自动探头选择(转换器)在4种探头之间
[不需要通过每个不同的样品测量来交换探头]
边缘1mm测量可通过双回路测量模式获得
高速测量
高性价比
兼容FOUP,兼容GEM / SECS
样品尺寸:
300mm(可选具备200mm)
测量范围:
方阻: 1m~10M Ω/sq (可选配达到最大 1G Ω/sq)
重复性:
CV≤ 0.17%