可用DLTS模式
C-DLTS (电容DLTS)
CC-DLTS(恒定电容DLTS,带有CC组件)
I-DLTS(电流DLTS )
Q-DLTS(电荷DLTS)
FET DLTS(三端DLTS,包含第二个电压源)
DD-DLTS(瞬态差别DLTS)
ITS(等温瞬态(C或I)谱)
PICS(光致瞬态(C或I)谱
Capture DLTS(捕获瞬态测量)
Laplace DLTS(对数瞬态测量和评估)
MIS-Nss DLTS(表面状态密度测量和评估)
MIS-Zerbst DLTS(少数载流子产生/寿命测量)
C(V),I(V),C(t),I(t)
耦合DLTS
使用28个不同的耦合器（软件）
对于一个测量参数组，只需要一个温度扫描28个温度扫描和28个Arrhenius绘图点
18不同的测量参数集 (偏压、脉冲电压/宽度/模式等) 可以定义为在一个温度扫描中测量
傅立叶DLTS
直接时间常数DLTS
拉普拉斯DLTS
计算瞬态中一个或多个 时间常数的逆拉普拉斯变换 (C、CC、I、Q 等)
HERA DLTS
利用特殊的重折叠数学对重叠的tempscan或ITS信号进行解卷积
脉冲发生器电压范围 ±100v,解析度0.3mV
脉冲宽度 1us-1000s
电容测量的高频信号 1M Hz
电容补偿范围 1pF- 3300pF
HF–频率: 1M Hz
HF-信号: 100mV
电容测试范围 2pF,20pF,200pF,2000pF,自动或手动
电容测试灵敏度 0.01fF
电流放大器最大测试电流: 15mA
电流放大器电流分辨率 10pA
数字瞬态记录器最大采样 64000点
数字瞬态记录器采样间隔 2us-4s
耦合方式 提供28种耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次变温即可得到28组曲线和数据点
单个温度点测试参数序列 单温度点设置18种测试参数序列,无需重复变温即可得到不同测试参数
测试模式
C-DLTS (Capacitance DLTS)
CC-DLTS (Constant Capacitance DLTS , with CC option)
I-DLTS (Current DLTS )
Q-DLTS (Charge -DLTS)
FET DLTS (3 term DLTS 2 nd voltage source included as a standard)
DD-DLTS (Transient difference DLTS)
ITS (Isothermal Transient (C or I) Spectroscopy )
PICS (Photon induced transient (C or I) spectroscopy
Capture DLTS (capturing transient measurement)
Laplace-DLTS (Logarithmic transient measurements and evaluations)
MIS - Nss DLTS
