Trek型号为645的软件驱动的静电吸盘电源供应器具有显著的优势和功能，可满足各种苛刻要求的应用场合。从已记录的用户使用情况可看出，用户使用我们设备的效率可达到使用其他电源的三倍。此外，645基本解决了粘性晶圆和晶圆爆裂问题，从而确保更好地控制颗粒污染。
鉴于645型的多功能性和以及优异性能，一台设备满足多种独特的工具/工艺流程。因此无需再为不同工艺中搭配不同应用场合的电源。
典型应用包括
l 材料的静电驱动处理
l 半导体晶圆加工
l 非机械转移的平板或其他加工材料的机械切割
特点和优点
l 同时支持Coulombic和Johnsen-Rahbek ESC技术
l 用户可自定义波形
l 静电卡盘配置文件可以上传到设备并通过友好的用户软件界面存储在内部
l 可记录减少背面气体错误，增加吞吐量，并消除粘滞/爆裂晶圆
l 可锁定的前面板控制界面
l 能控制各种参数，如过流，晶圆存在和晶圆钳位阈值，钳位电压，偏移电压和内或外部幅度/偏移控制
l 晶圆检测可不包括晶圆，晶圆存在或晶圆夹紧状态
l 包括进程内可调振幅/偏移和输出控制的多功能性
l 可以通过背面板I / O输出，串行计算机命令或前面板控制进行控制
l 每台设备提供NIST可溯源校准证书
l CE标准
输出
同时输出高电压：在相对于偏移电压的情况下，两路高电压同时输出（A相输出和B相输出），在幅度上相等，且极性上相反。
输出相位
输出电压A（参考相）：0至±2 kV
输出电压B：0至±2kV（B相= [-1]×A相）
偏移电压：
高达±2 kV的偏移电压可能会同时添加到每相的输出。当添加偏移电压时，无论A和B电压本身的幅度和极性如何，偏移电压的极性和幅度都会同时出现输出A和B上。各相的偏移电压和输出电压之和不能超过±2 kV
波形输出：
每个直流输出电压（A相和B相）上升和下降，都有对称的上升和下降时间，或者可以用用户自定义钳位和衰减波形进行编程
输出电压范围：最大值0至±2 kV DC，
输出电流：0至±6.5 mA DC，峰值功率为10 mA
输入
设置高压幅度：HV幅度可以在设备的外部或内部进行控制
设置偏置电压：偏置电压可以在设备外部或内部进行控制
输出电压监视器（后面板连接器）
比率因子：1 V / 200 V.
B相DC：精度优于满量程的2％
偏移电压：小于10 mV
输出噪声：小于50 mV rms *
稳态电压泄漏电流监视器
比率因子：100μV/ 1μA
直流精度：±5μA
输出噪声：小于50 mV rms *
特点
联锁：提供连接以支持联锁安全配置。如果联锁打开，高压产生的电路会被关闭
数字显示：40X2 LCD字符显示器可显示各种系统功能，如设置电压，输出电压和电容监视状态
钳位晶圆检测功能（阈值由程序设置）：
为了指示晶圆钳位事件，由低电压正弦波产生的电容电流，在相位a和阶段B输出上叠加，可被监控，但也可以通过程序禁用。叠加波形用于指示无晶圆，有晶圆存在或晶圆夹紧状态
电容负载选择：
根据系统和静电钳位物理配置，在0至10,20或30nF（逐相）的程序中可以选择钳位电容状态范围。
机械规格
尺寸：43.7 mm 高x 421.6 mm 宽 x 457.3 mm 深（1.72”高 x 16.6”宽 x 18”深）占1U机架
面板宽度：482.6mm（19”）
重量：8.5 lbs（3.86 kg）
连接器：15针“D”ITT佳能作用于远程设备用于控制/监控设备，9针“D”ITT 佳能 RS232，3针FCT“D”高压，标准A型USB，以太网（可选项）和前面板
电源开/关：2位摇臂开关
运行条件
温度：0°C至35°C（32°F至104°F）
相对湿度：85％，非凝结状态下
海拔高度：到2000米（6561.68英尺）
电气直流输入插座：
2.0mm锁定DC插孔;中心触点为正极，外壳为负极（插座与Switchcraft S761K插头配合使用）
接地插座：接地螺柱
电源要求：24 V DC，1.7 A
提供的配件
操作手册，SW PN：24010
USB电缆高压连接器PN：BA103 PN：B8084R，B8085R，B8088R，B8089R
DC插头（S761K）Switchcraft PN：BA119R
电源线，保险丝可按实际使用的目的地位置选择
