针对功率型DIODE、MOSFFET、IGBT等组件的晶圆测试
PEGASUS FAPG150是一台单面自动化探针结构的探针台，手臂自动取晶圆至预对准器调平及点测位置测试，可提供稳定且快速的测试环境，针对不同应用设定最佳的点测速度与针痕，并可因客户需求提供客制化的设计。
性能特点
简易操作平台及游戏杆设计
晶圆图建立及编辑功能
中文Windows操作接口，操作简易
可建立不同产品配置文件
CCD Wafer自动调平及对位
模块化电控结构，易于维修
高精密马达驱动，提供安静的运行环境
可同时放置2组cassette
晶圆平边(V notch)找寻及调整
TTL/RS232通讯方式，可搭配各厂测试机
优越的点测速度与极佳的探针针痕
可因客户需求进行客制化设计
X/Y轴
架构 : 高精度循环式滚珠螺杆
行程：285mm × 250mm
解析度：0.5 μm
精度：≦± 4 μm /203mm
重复性：≦± 4 μm /203mm
Z轴
行程：10mm
解析度：1 μm
精度：≦±4 μm
重复性：≦±4 μm
Theta轴
行程：±10度
解析度：0.001度
载盘
材质 : 高強度鋁合金
尺寸 : 可選擇4” ~ 8”
可选择使用Hot Chuck
CCD 调平模块
可依客户晶粒尺寸进行搭配
标准：1/3” 1024X768 CCD
0.5X 镜头(ROI: 9.6mm X 7.2mm)
显微镜
三眼体视显微镜
LED环形光源
倍率： X0.67 ~ X4.5
目镜： X10 or X20
外观尺寸
950(D) × 1360(W) × 1730(H) mm (含屏幕，不包含信号灯)
重量
550Kg(不含测试机)
真空
4-6Kgf/cm²
气压
0.5MPa
