全自动硅片分选机(机械手+皮带式)

  • 产品型号:NC-3000F
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-3000F是由日本Napson公司推出的全自动硅片分选机。可提供电阻率, 厚度, 平坦度,PN TYPE及硅片直径检测等测量功能。并可根据客户要求定制需要分选的晶圆盒数量,全程采用机械手+皮带传输的方式,是一款高产能的全自动分选方案。


应用:8-12寸硅片


测试数据可通过CSV格式文件导出,支持SECS/GEM通讯协议。


  • 样品尺寸:

         8-12寸


  • 测量范围:

         0.0006~210ohm.cm


  • 厚度测量范围:

        300-1300um, 或其他特殊范围要求

        可增加平坦度测量功能,PN type测试, 晶圆直径等