ESD/CDM/Latch-UP抗静电能力测试系统

  • 产品型号:ESD Station 1100 series
  • 制造原厂:Tokyo Electronics Trading Co. Ltd.

ESD-1100ELC测试仪是世界上第一个商业上可用的ESD测试系统,该系统将所有ESD、闭锁和CDM测试结合在一个系统中——设备多达256个大头针。如果配备了专用的DUT板(如下一页的DUT板实例2),则非供应销与供给针ESD测试可自动测试高达1350个销对,尽管这是某种简化的ESD测试。该系统可包括128或256针的全针组合ESD测试功能,以及多达4个Vcc的供应延迟测试能力,以及符合JEDEC标准的CDM测试,可选择满足ESDA或JEITA标准。

型号1100E:支持HBM和MM ESD测试。

型号1100EL:支持HBM, MM和latchup测试。

型号1100ELC:支持HBM、MM、latchup和CDM测试。

通过ESD测试,可以测试设备损伤与ESD应力之间的关系。ESD应力包括人体模型(HBM)和机器模型(MM)。模型1100E包括HBM和MM,但是其他的应力模型可以很容易地包括在选项中。任何128或256针可以编程为ESD返回别针(终端B),因此许多ESD标准所需的全部销组合测试是被允许的。最新的测试测量了CMOS设备的最新灵敏度,检测了拉升电流(在检测到的延迟)。电流脉冲、电压脉冲和电压脉冲电源都被包括在基本系统中,作为闭锁的触发源。此外,如果需要,HBM和MM ESD脉冲可用于触发闭锁。

其他的锁存触发源可以作为选项安装,这样就可以对瞬时挂接进行评估。为了得到一个稳定的闭锁测试结果,稳定设备内部条件和供给电流是非常重要的。所有别针的引体向上功能都由基本配置提供。时钟和模式生成也是一个选项。CDM测试仪的基本配置,型号为1100ELC,将包括JEDEC的空气排放清洁发展机制(CDM)头,它可以刺激外场诱导的CDM (FI-CDM或F-CDM)。可选地,其他清洁发展机制的主管也可以提供如清洁发展机制(简称“清洁发展机制”),以及为ESDA或AEC标准提供的清洁发展机制。所有CDM模型都模拟了由带电设备金属端子接触外部金属所引起的快速空气放电应力。



  • HBM:±5V到4500V/ 5V

  • MM:±5 V到1000 V/ 5V

  • HBM:±8000V (选项)

  • 电压精度:±5%+5V编程值

  • Pin脚选择:2轴机器人自动定位

  • 标准:MIL,JEDEC,JEITA,ESDA,AEC

  • VF:±10mV~±50V,3位,精度:2%±20mV

  • IM:±10nA~±100mA,精度:2%±20nA

  • 5年保修(可选)

CDM测试参数

  • 模式:D-CDM或F-CDM

  • 规范:JEDEC,JEITA,ESDA,AEC

  • 最大Pin数:1500

  • 定位精确度:±0.05mm

  • 定位方式:CCD camera