pegasus™s300 晶圆探针台是一款经济的半自动探头, 用于将全部和部分晶圆测试到 300 mm, 对于低体积探测、设计验证、故障分析和探测封装组件特别有效。
pegasus™s300 晶圆探头具有精确的分辨率和可重复的精度。其模块化设计可满足广泛的生产力提升和现场可升级选项。探测是通过探针卡或微探针座完成的。pegasus™s300s 的机械结构、显微镜安装和多个程控探头都可以通过操纵杆进行控制。pegasus™s300 探头系统也可以使用所有业界认可的通信协议进行控制。
TTL、以太网 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通讯模式
轻松集成CCD和Wentworth LabMaster™ 控制和监控软件
远程键盘, 易于操作
可用于辅助探测的各种附加组件
电动平台用于控制探针卡上下移动保证安全性
半自动两点晶圆对齐, 减少设置时间
模块化设计, 可轻松进行现场升级
载片平台
x-y 平台
高精度滚珠丝杠和步进电机
行程 310x310 毫米
分辨率 1.25 微米
重复 ±4.0 微米
精度 ±7.0 微米
平整度 8μm
最大速度 100mm/秒
z 平台
精密滚珠丝杠和步进电机
行程 11毫米
分辨率 1微米
重复 ±1.0μm
theta 平台
行程 ±8.0°
分辨率 0.000°
探针平台
驱动类型 手动
z 行程 11.5 毫米
材料 镀镍钢
图形用户界面
Windows 7、8.1 和10
通信接口
PC TTL, RS232, GPIB (ieee488.2)以太网
动力
供电 100-240 VAC50/60 HZ 自动选择600VA
真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)
压缩空气 4帕/分钟
外形尺寸
探针台(不包括光学部分) 888x900x830mm 35x35.4x32.6 "
控制器 450x480x180mm 17.5x19.5x7 "
重量
探针台 100公斤
控制器 13千克