12“半自动晶圆探针台

  • 产品型号:S300
  • 制造原厂:Wentworth Laboratories

pegasus™s300 晶圆探针台是一款经济的半自动探头, 用于将全部和部分晶圆测试到 300 mm, 对于低体积探测、设计验证、故障分析和探测封装组件特别有效。

pegasus™s300 晶圆探头具有精确的分辨率和可重复的精度。其模块化设计可满足广泛的生产力提升和现场可升级选项。探测是通过探针卡或微探针座完成的。pegasus™s300s 的机械结构、显微镜安装和多个程控探头都可以通过操纵杆进行控制。pegasus™s300 探头系统也可以使用所有业界认可的通信协议进行控制。


  • TTL、以太网 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通讯模式                                                                               

  • 轻松集成CCD和Wentworth LabMaster™ 控制和监控软件

  • 远程键盘, 易于操作

  • 可用于辅助探测的各种附加组件

  • 电动平台用于控制探针卡上下移动保证安全性

  • 半自动两点晶圆对齐, 减少设置时间

  • 模块化设计, 可轻松进行现场升级

载片平台

x-y 平台

高精度滚珠丝杠和步进电机

  • 行程 310x310 毫米

  • 分辨率 1.25 微米

  • 重复 ±4.0 微米

  • 精度 ±7.0 微米

  • 平整度 8μm

  • 最大速度 100mm/秒

z 平台

精密滚珠丝杠和步进电机

  • 行程 11毫米

  • 分辨率 1微米

  • 重复 ±1.0μm

theta 平台

  • 行程 ±8.0°

  • 分辨率 0.000°

探针平台

  • 驱动类型 手动

  • z 行程 11.5 毫米

  • 材料 镀镍钢

图形用户界面

  • Windows 7、8.1 和10

通信接口

  • PC TTL, RS232, GPIB (ieee488.2)以太网

动力

  • 供电 100-240 VAC50/60 HZ 自动选择600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)

  • 压缩空气 4帕/分钟

外形尺寸

  • 探针台(不包括光学部分) 888x900x830mm 35x35.4x32.6 "

  • 控制器 450x480x180mm 17.5x19.5x7 "

重量

  • 探针台 100公斤

  • 控制器 13千克