8“全自动晶圆双面探针台

  • 产品型号:A200D
  • 制造原厂:Wentworth Laboratories
  • Pegasus A200D 系列在一个紧凑且易于使用的全自动探测平台中, 可同时对多达8英寸的晶圆进行双面探测。

  • Pegasus A200D 采用专有的晶圆环夹紧夹头, 可从两个载盒中抓取晶圆, 每个载盒包含25个晶圆片。

  • Pegasus A200D 具有高度先进的上、下探头臂卡尺, 可通过多个针探卡控制同时接触晶圆的顶部和底部。

  • pegasus A200D 系列探头通过专有的 labmastertm 控制和监控软件提供菜单驱动或按钮控制。


  • 可支持最大8英寸的晶圆进行双面探测

  • 功能强大、用户友好的控制和监控软件

  • 探针的高度控制及预设针载

  • 影响定位识别系统

  • 机械手取片系统

  • 可提供5KV以上的高电压测试, 适用于特殊应用

探针台

XY 平台

  • 类型 :高精度滚珠丝杠

  • 平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")

  • 分辨率1.25 微米

  • 精度±7微米超过200mm

  • 重复性±4μm

  • XY移动速度高达 100 mm/s

  • 自动对齐重复性±5μm wafer 处理

  • 速度:1270毫米/秒 (r), 254 mm/秒(z), 800 度/秒 (Ø)

  • 定位重复性:  12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)

  • 平整度:可选择

  • 定位精度 : ±63.5 微米±0.125 度

  • 重复性:±4μm

  • XY移动速度高达 100 mm/s