Pegasus A200D 系列在一个紧凑且易于使用的全自动探测平台中, 可同时对多达8英寸的晶圆进行双面探测。
Pegasus A200D 采用专有的晶圆环夹紧夹头, 可从两个载盒中抓取晶圆, 每个载盒包含25个晶圆片。
Pegasus A200D 具有高度先进的上、下探头臂卡尺, 可通过多个针探卡控制同时接触晶圆的顶部和底部。
pegasus A200D 系列探头通过专有的 labmastertm 控制和监控软件提供菜单驱动或按钮控制。
可支持最大8英寸的晶圆进行双面探测
功能强大、用户友好的控制和监控软件
探针的高度控制及预设针载
影响定位识别系统
机械手取片系统
可提供5KV以上的高电压测试, 适用于特殊应用
探针台
XY 平台
类型 :高精度滚珠丝杠
平台行程210毫米 x210 毫米 (8.3 "x 8.3")
分辨率1.25 微米
精度±7微米超过200mm
重复性±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s
自动对齐重复性±5μm wafer 处理
速度:1270毫米/秒 (r), 254 mm/秒(z), 800 度/秒 (Ø)
定位重复性: 12.7 微米 (z), 38.1 微米 (r) 恒溫下 0.01° (Ø)
平整度:可选择
定位精度 : ±63.5 微米±0.125 度
重复性:±4μm
XY移动速度高达 100 mm/s