12“半自动晶圆分析探针台

  • 产品型号:S300FA
  • 制造原厂:Wentworth Laboratories

Wentworth Pegasus™FA系列晶圆探针台为多功能性和易操作性设定了最高标准。Pegasus™S300FA半自动晶圆探针台是许多应用的理想平台,它使用多种提高生产率的附件,并适应升级以满足未来的探测要求,是一种非常通用的探针平台,专为故障分析应用,器件表征,直流,低泄漏,高压,射频/微波,芯片,小批量12寸晶圆测试而设计

  • Pegasus™S300FA支持300mm的全部和部分晶圆

  • 支持各种悬臂探针卡

  • 自动和手动方式的探针座

  • 可编程和手动显微镜安装座

  • 用于切割和打标的激光器

  • 变温载台及各种其他配件                    

  • 带有操纵杆和LCD监视器显示屏的Pegasus™控制台具有简单的菜单,使用户可以轻松操作

  • 可选的LabMaster™软件让用户能够设计复杂的测试程序

  • LabMaster™与领先的测试仪无缝连接,同时与所有探针台系统附件进行通信                 

  • 由Wentworth独有的校准工艺,精密滚珠丝杠和步进电机可在宽温度范围内提供可重复的精度                                     

  • 频率 :dc > 100Mhz

  • 击穿电压 :500V

  • 漏电 :+/-10fA -65°C > +200°C +/-20fA +200°C > +400°C

探针台

精密滚珠丝杠和步进电机

  • 旅行 310mx400mm 

  • 分辨率 0312 微米

  • 重复 ±4.0 微米

  • 精度 ±5.0 微米

  • 平整度 8μm 

  • 最大速度 100mm/sec 

z 平台

精密滚珠丝杠和步进电机

  • 行程 11毫米

  • 分辨率0.156 微米

  • 重复 ±1.0μm

theta 

  • 行程 ±8.0°

  • 分辨率 0.0001°

可编程显微镜

步进电机

  • 行程 50毫米 x50 毫米 x100 毫米 

  • 分辨率 0.15 微米

  • 重复 ±1.0μm

  • 精度 ±2.5μm

探针平台

驱动类型 步进电机

  • z 平台 18毫米

  • 材料 镀镍钢镀钢

图形用户界面

  • WINDOWS7、8.1 和10

通信接口

  • PC TTL RS232,GPIB (IEEE488.2)以太网

厂务

  • 供电 100-240 VAC 50/60 hz 选择600VA

  • 真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)

  • 压缩空气 4帕/分钟

外形尺寸

  • 探针台(不包括光学) 880x875x610mm

  • 控制器 450x480x180mm  

屏蔽

  • 光屏蔽 > 120 分贝

  • 电磁屏蔽 > 20 分贝 0.5-0.5 ghz, 30 d0.5-3ghz

重量

  • 探针台 131公斤