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德技科技股份有限公司-產品信息
半導體/III-V族檢測設備
霍爾效應/電化學CV/熒光光譜/FTIR測試/太赫茲
熒光光譜儀(PL Test)
產品名稱: 快速全自動光熒光光譜儀
產品型號: Imperia
製造原廠: Nanometrics Inc.
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產品介紹:
  • 新一代高速全自動光熒光譜儀
  • 同步晶圓PL測試和表面缺陷測試
  • 晶圓缺陷檢測和軟體深層分析功能
  • 測試150mm晶圓每小時90片以上的超高產能
  • 符合GEM/SECSII標準的全自動機械平臺
  • 多種雷射器可選532nm,405nm,375nm,355nm
  • 光譜測試範圍 350-850nm,400-1000nm可選