通用型手动探针台

  • 产品型号:PG101W
  • 制造原厂:Quatek Co.,Ltd.

通用型手动探针台 

特点:

  • 外观紧凑,重量轻巧,高性价比

  • 可选配不同探针、样品测试平台等选件,符合不同器件测试应用

  • 适用于4”以下晶圆测量

  • 适合于科研/研发器件特性分析  

应用:

  • LED晶圆及芯片之光电特性分析

  • LD/PD等光电器件特性分析

  • 分立器件/MEMS等半导体器件特性分析

  • 其他复合功能材料/陶瓷材料/半导体材料特性分析


技术规格: 

• 4”铝合金镀镍载盘 

• 2”/3”/4”三真空孔可切换 

• X-Y轴移动范围:4”X4”(10μm解析度) 

• Z轴上下调整距离: 10mm 

• Theta轴可调(选配) 

• 最多支持4个磁吸式探针座   

• 尺寸:370mmWx370mmDx450mmH(含显微镜)

• 重量:20kg(含显微镜) 

• 显微镜技术规格 

目镜可调倍率:20 

物镜放大倍率:0.67 ~ 4.5 

最小可视面积:2.7mm直径 

LED照明光源 

• 使用条件:电源:AC 100~240V(50/60Hz) 

真空:-250mmHg,7公升/分钟 

附件: 

• 磁吸式探针座2个 

• 铍铜针10根 

选配件: 

• 镀金载盘 

• 高压探针/高压载盘 

• 微电流探针/电容探针 

• 待测物夹具 

• 探针卡支架/探针卡 

• 变温载盘(室温至200°C) 

• 防震桌 

• 遮光罩 

• 真空泵