场强监控系统

  • 产品型号:Qstream-FM
  • 制造原厂:QUATEK

Qstream-FM 系列是场强计监控系统。基于特殊的场强传感器,它可以提供与EOS/ESD过程相关的精确的非接触测量。Qstream还提供数据采集,可将测量结果上传到客户主机系统或在自有软件中显示,可通过多种设置进行远程报警和报告,易于安装在工艺设备内部。

测量范围

Qstream-FM-20k: ±20kV直流或峰值交流

测量精度

优于整量程5%±读数2数位

探针与表面距离

Qstream-FM-20k: 25 mm